Nanotronics

nSPEC

생산 기술의 미래


Nanotronics는 광학 현미경, 초해상도, AI, 로봇 공학을 접목하여 세계에서 가장 뛰어난 현미경을 생산 현장에 공급하고 있습니다. 반도체, 마이크로칩, LED, 나노튜브 등 최첨단 기술의 검증을 위한 산업용 현미경을 자동화하였고, 이는 세계 유수의 제조사들의 생산 공정에 필수적인 부분이 되었습니다.


우리의 nSPEC 현미경 시스템은 과거 검사 방식과 처리제어 장치보다 비용은 절감하고 성능은 향상시켰습니다. nSPEC은 고객들의 수율, 처리량과 프로세서 제어를 향상시키고 설치공간과 비용은 감소시킬 것입니다. 또한 nSPEC의 소프트웨어는 공장과 생산의 각 부문을 통합할 수 있는, 인지/인공지능을 위한 최초의 산업적 적용입니다. Nanotronics 소프트웨어는 최소한의 사용자 교육을 통해 나노 단위의 특징을 탐지할 수 있습니다.

신속한 광학 스캔


Nanotronics의 nSPEC은 많은 이미지 모드로 샘플을 신속히 스캔하고, 맞춤형 기준과 보고 양식에 따라 특징을 탐지하고 분류하는 자동 이미지 분석 기능을 적용했습니다. 

또한 nSPEC은 샘플 표면의 결함을 자동적으로 탐지하고, 이러한 결과물은 전체적으로 신속한 샘플 그룹 비교를 가능케 합니다. 완전 자동화된 생산 환경에도 동일한 방법이 적용 가능합니다.

3D 지형 및 분석


Nanotronics의 nSPEC은 신속하고 비접촉 광학 측정 방법을 통해 3D 지형을 1um 이하 해상도로 캡쳐할 수 있습니다. 또한 nSPEC은 관련 측정 결과 뿐 아니라 표면의 조도 역시 자동으로 알려줍니다.

3D 대단위 임계치수 측정


Nanotronics의 툴은 신속하고 자동으로 장거리의 3D 임계치수 측정이 가능하며, 소프트웨어는 자동적으로 스캔 결과를 분석하여 이를 레포트로 받아볼 수 있습니다.

Customer Study - 1


  • 패턴화된 웨이퍼 분석을 위한 Golden Templates를 쉽게 생성할 수 있도록 기기 정렬 layout의 정확한 mapping을 위한 기능 인식
  • 기기 하위 영역과 주요 기능의 접근성에 대한 관련 결함 보고를 위한 유연한 마스킹과 보고 기준
  • 매우 큰 장치, 또는 미분화 된 고주파 기능 영역의 템플릿을 성공적으로 생성하는 독특한 소프트웨어 솔루션
  • 전체 수율 및 Pass/Fail 결과를 포함한 가상 모자이크와 요약 통계 제공 (csv로 변환 가능, KLARF 및 SECS/GEM과 통합)

Customer Study - 2


  • 밝은 곳과 어두운 곳, 그리고 DIC 이미징 모드에서도 신속한 광학 스캔 가능
  • 다양한 결함 유형을 자동으로 탐지하고 분류하는 분석 시스템 (예:  Crack, Carrot, Octopi)
  • 인공지능 알고리즘을 통해, 상대적으로 희소한 데이터에서 더 많은 결함 유형을 찾기 위한 맞춤형 분석 제공
  • 가상 모자이크와 요약 통계 제공 (csv로 변환 가능, KLARF 및 SECS/GEM과 통합)

Computer Vision Algorithms


  • 전체 샘플에 대한 신속한 스캔
  • 장치 및 하위 영역별로 모든 결함을 감지, 측정하여 리포트
  • 결함 및 특징을 구체적이고 정확하게 파악하기 위한 Hyper-localization
  • Nanotronics의 독자적인 심층 학습 소프트웨어 활용